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| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,能源,電子/電池,綜合 |
產品介紹：
狹縫涂布設備 Slot-Die
多段式供液，涂布膜層均勻性高
通過3個激光傳感器，實現快速自動對刀、防撞刀
搭配高精度注液泵
可采用鈣鈦礦溶劑驗收
集成閃蒸和退火工藝，成膜環境和成膜過程高度可控
大面積樣品退火受熱均勻，保證相變一致性
快速去除濕膜中的殘余溶劑，均勻的過飽和
變頻調速羅茨泵實現抽氣速率可控
P1、P2、P3飛秒、皮秒紅外激光可選
高度定制化，膜面/玻璃面劃刻可選，平頂光斑可選
精度高，具備逐線功能，線間距小
工藝成熟，邊緣光潔，無火山環及毛邊
多源共蒸，實現大面積鍍膜
熱場和溫控精確
精確控制薄膜厚度
薄膜均勻性高
溫控精度高
全自主工藝腔室設計，空間型和時間型可選，多片和單片可選
工藝穩定性高
自研氧化鎳反應濺射控制器
ITO/NiOx靶采用圓柱靶，靶材利用率高
靶-基距可調，低損傷TCO導電膜鍍膜
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